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公司新聞

光譜共焦原理的優(yōu)點(diǎn)(光纖同軸位移傳感器/彩色激光位移計(jì))

2023-11-24

1.可以測(cè)量多種表面：鏡面、彎曲或傾斜的鏡面、粗糙面、透明、液滴表面等的測(cè)量都變得容易。 2.無(wú)陰影效應(yīng)：光從四面八方照射到樣品，激光原理一個(gè)方向被遮擋無(wú)法測(cè)量的區(qū)域，共焦容易解決。 3.高分辨率：理論上波長(zhǎng)可以一直細(xì)分下去，理想鏡頭具有相當(dāng)高的分辨率。

光譜共焦位移傳感器在半導(dǎo)體領(lǐng)域的測(cè)量

2023-11-24

光譜共焦位移傳感器是一種最近流行新型的光學(xué)傳感器，其基本原理是一束白光經(jīng)過(guò)一個(gè)小孔，經(jīng)過(guò)鏡頭將不同的波長(zhǎng)聚焦到光軸上，色散地形成一條彩虹狀分布帶，照射到樣品上，部分反射光反射回去。照射在光軸與物體表面交點(diǎn)的光經(jīng)過(guò)分光部件，通過(guò)小孔照射到光譜分析儀。

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