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光譜共焦原理的優(yōu)點(光纖同軸位移傳感器/彩色激光位移計)

2023-11-24


1.可以測量多種表面:鏡面、彎曲或傾斜的鏡面、粗糙面、透明、液滴表面等的測量都變得容易。 2.無陰影效應(yīng):光從四面八方照射到樣品,激光原理一個方向被遮擋無法測量的區(qū)域,共焦容易解決。 3.高分辨率:理論上波長可以一直細分下去,理想鏡頭具有相當(dāng)高的分辨率。

1.可以測量多種表面:鏡面、彎曲或傾斜的鏡面、粗糙面、透明、液滴表面等的測量都變得容易。

2.無陰影效應(yīng):光從四面八方照射到樣品,激光原理一個方向被遮擋無法測量的區(qū)域,共焦容易解決。

3.高分辨率:理論上波長可以一直細分下去,理想鏡頭具有相當(dāng)高的分辨率。

4.溫度穩(wěn)定性好:鏡頭本身不發(fā)熱,溫度漂移小。對于微米以及亞微米測量,溫漂是關(guān)鍵。

5.自動聚焦:在量程范圍內(nèi),被測物的位置上下變動時都有相應(yīng)的波長的光聚焦到物體表面。

6.橫向分辨率高:從上到下總是在焦點上,測量光斑均微小,能分辨被測物上的微小輪廓變化。

7.模塊化小型化:鏡頭和控制器可以通過光纖連接,傳輸距離遠,鏡頭可以做得很小,便于并排安裝。

8.調(diào)頻抗干擾:波長是調(diào)頻信號,對光強變化等調(diào)幅干擾不敏感。光纖對電磁干擾、雷電浪涌不敏感。

9.透明材料厚度測量:當(dāng)被測物透明且有兩個表面,就會有兩個波長的光返回得到厚度值。

10.全息性:理論上任意一束返回光譜分析儀的光線的波長都攜帶了距離信息,部分光被遮擋影響小。

11.安全性高:壽命長的LED光源,微小功率的白光,比激光對人眼安全,不受限于激光危害等級。

12.高防護:控制器高防護等級,光纖可提供不銹鋼外套版本,防止蟲害鼠咬。

關(guān)鍵詞:

色譜柱

SPE小柱

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光譜共焦傳感器的校準(zhǔn)方法

根據(jù)光譜共焦的測量原理,控制器需要對反射回的光譜信號進行分析。但是在沒有測量樣品的條件下,控制器里的傳感器仍然能夠偵測到一些信號。這些信號通常被稱之為暗信號,由光纖耦合器和測量頭反射回來的雜散光組成。

2023-11-24

光譜共焦原理的優(yōu)點(光纖同軸位移傳感器/彩色激光位移計)

1.可以測量多種表面:鏡面、彎曲或傾斜的鏡面、粗糙面、透明、液滴表面等的測量都變得容易。 2.無陰影效應(yīng):光從四面八方照射到樣品,激光原理一個方向被遮擋無法測量的區(qū)域,共焦容易解決。 3.高分辨率:理論上波長可以一直細分下去,理想鏡頭具有相當(dāng)高的分辨率。

2023-11-24

光譜共焦位移傳感器在半導(dǎo)體領(lǐng)域的測量

光譜共焦位移傳感器是一種最近流行新型的光學(xué)傳感器,其基本原理是一束白光 經(jīng)過一個小孔,經(jīng)過鏡頭將不同的波長聚焦到光軸上,色散地形成一條彩虹狀分布帶,照射到樣品上,部分反射光反射回去。照射在光軸與物體表面交點的光經(jīng)過分光部件,通過小孔照射到光譜分析儀。

2023-11-24